النظم الكهروميكانيكية البصرية الصغرى (إم أو إي إم إس) (بالإنجليزية: Microoptoelectromechanical systems)، المعروفة باسم النظم الكهروميكانيكية الصغرى البصرية، ليست فئة خاصة من النظم الكهروميكانيكية الصغرى (ميمس) بل هي مجموعة من الميمس المدمجة مع البصريات الدقيقة؛ وذلك يتضمن استشعار أو معالجة الإشارات البصرية على نطاق صغير جدًا باستخدام النظم الميكانيكية والبصرية والكهربائية المتكاملة. تتضمن النظم الكهروميكانيكية البصرية الصغرى مجموعة متنوعة من الأجهزة، كالمبدل البصري، والتوصيل البصري المتبادل، والليزر سطحي الإصدار ذو الجوف الشاقولي الانضباطي، ومقاييس الإشعاع الحراري المجهري. تُصنع هذه الأجهزة عادة باستخدام البصريات الدقيقة وتقنيات التجهيز الآلي القياسية باستخدام مواد مثل السيليكون وثاني أكسيد السيليكون ونيتريد السليكون وزرنيخيد الغاليوم.
قراءة المقال الكامل على ويكيبيديا ←