القياس الإهليلجي هو تقنية بصرية لقياس خصائص السطوح والأغشية الرقيقة. يعطي هذا القياس قيم سماكة وقرينة انكسار المادة التي يتكون منها الغشاء أو السطح، كما يمكن باستخدام تمثيل طيفي استنتاج مكونات المادة أو كمية الشوائب فيها أو طبيعتها البلورية أو ناقليتها الكهربائية أو شكل السطح (مثال شبكات الانعراج) وخشونته.
تستعمل هذه التقنية بشكل واسع في مجال البصريات والإلكترونيات، كونها لا تتلف العينة المدروسة ولا تدخل عليها إي تغيير، وكون دقتها تصل إلى أجزاء من النانومترات بالنسبة للسماكة أي ما يعادل طبقة ذرية واحدة، وخمسة بالألف بالنسبة لقرينة الانكسار.