الفحص المجهري بالمسبار الماسح، هو أحد فروع الفحص المجهري، يُستخدم لتكوين صور دقيقة للأسطح عبر مسبار فيزيائي يمسح العينة. ظهر هذا النوع من المجاهر عام 1981 مع اختراع المجهر النفقي الماسح، وهو جهاز متخصص في تصوير الأسطح على المستوى الذري. وقد نجح العالمان غيرد بنينغ وهاينريش روهرر في إجراء أول تجربة ناجحة لهذه التقنية، وكان سر نجاحهما هو استخدام دائرة تغذية راجعة للتحكم في المسافة بين المسبار والعينة.
تتميز العديد من طرق الفحص المجهري بالمسبار الماسح بقدرتها على تصوير تفاعلات متعددة في آنٍ واحد، وتُعرف الطريقة المستخدمة لاستخلاص الصور من هذه التفاعلات باسم النمط (Mode).
تختلف دقة الصور بين التقنيات المستخدمة، إلا أن بعض أساليب الفحص المجهري بالمسبار الماسح قادرة على الوصول إلى دقة ذرية فائقة، وذلك بفضل المشغلات الكهروضغطية (Piezoelectric Actuators) التي تتيح تنفيذ حركات دقيقة على المستوى الذري أو أعلى استجابةً للأوامر الإلكترونية. يُطلق على هذه الفئة من التقنيات اسم التقنيات الكهروضغطية. أما العنصر المشترك بين هذه التقنيات، فهو أن البيانات تُجمع عادةً في شبكة ثنائية الأبعاد من النقاط، ثم يتم تمثيلها بصريًا باستخدام ألوان زائفة لإنشاء صورة حاسوبية واضحة.