في تقنية أشباه الموصلات، يعد العازل الكهربائي ذو ثابت عزل عالي القيمة مادة تحتوي على ثابت عزل أعلى من
ε
r
{\displaystyle {\varepsilon }_{\mathrm {r} }}
لثاني أكسيد السيليكون التقليدي ( 3.9= εr) أو أكسيد نيتريد السيليكون (εr < 6).
المصطلح «ذو ثابت عزل عالي القيمة» high-k حيث غالبًا ما يستخدم ثابت العزل
κ
{\displaystyle \kappa }
(kappa)، وفي حالة عدم وجود هذا الرمز يشار إليه أيضًا بـ k .