اسم علم مؤنث عربي جاء على صيغة المصدر، ومعناه: النَّقاء، خلاف الكدر. ويقال: جلسة صفاء، أي: جلسة نقيَّة، خالية ممّا يكدِّرها، ويوم صاف: يعني يوم مشرق لا يكدره غيم أو ريح.
وهو اسم علم شخصي مؤنث، وله انتشار في العالم العربي، ومن الأسماء المشابهة لأسم صَفاء: صَفا صَفْصف صَفِيَّة صافِية صفوة.