مركبات الإيثر السيليلي هي مجموعة من المركبات الكيميائية الحاوية على ذرة سيليكون مرتبطة تساهمياً إلى مجموعة ألكوكسي.
لمركبات الإيثر السيليلي الصيغة العامة R1R2R3Si−O−R4، ويمكن للمجموعة R4 أن تكون إما مجموعة ألكيل أو أريل.
تستخدم مركبات الإيثر السيليلي عادة كمجموعات حماية للكحولات في الاصطناع العضوي، إذ يمنح التنوع الممكن إضافته في المجموعات R1R2R3 الحرية في تغيير المجموعات، وبالتالي عدد أكبر من الاحتمالات في مجال الانتقائية أثناء الحماية.